三氟化硼

三氟化硼

三氟化硼(BF3)是一种无色、有毒、不可燃、具有腐蚀性的高压气体。

 

应用

在半导体工业中,三氟化硼被用于:

  • 硅中的 p 型扩散
  • 离子注入。

 

材料兼容性

金属:黄铜、不锈钢、碳钢、铜、蒙乃尔合金。

塑料:Kel-F;PTFE、FEP 和 PFA 含氟聚合物树脂;Tefzel;聚氯乙烯;PVDF。

弹性体:氟橡胶

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