八氟环丁烷

卤化碳 c318，C4F8 又称八氟环丁烷，是一种由碳原子和氟原子组成的无色、无味、不可燃的气体。C4F8 在半导体工业和其他需要精确控制蚀刻和沉积工艺的先进制造业中发挥着至关重要的作用。

蚀刻气体：C4F8 广泛用作半导体行业的蚀刻气体，尤其是等离子蚀刻工艺。在集成电路制造过程中，它对蚀刻二氧化硅（SiO2）和氮化硅（Si3N4）薄膜非常有效。

化学气相沉积（CVD）：C4F8 在化学气相沉积过程中用作前驱气体，用于沉积含氟聚合物薄膜。这些薄膜可应用于保护涂层、表面改性和纳米技术。

导热油：由于具有出色的热稳定性和低粘度，C4F8 有时会用作电子冷却系统和半导体制造设备等特殊应用中的导热油。

纯度：99.99%

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