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English 硅烷是硅和氢的化合物，包括单硅烷（SiH4）、二硅烷（Si2H6）和一些高阶硅氢化合物。其中，单硅烷最为常见，单硅烷有时简称为硅烷。硅烷是一种无色、与空气反应的窒息性气体。
| 气体 | 硅烷 |
| 化学文摘社编号 | 7803-62-5 |
| 纯度 | ≥99.9% |
应用
玻璃
硅烷用于生产特种玻璃，以提供反射涂层。
半导体
硅烷是硅半导体工业的基本材料之一。它被用作生长多晶硅和外延（单晶硅）、二氧化硅、氮化硅以及掺杂砷化镓的硅源。硅烷还用作化合物半导体器件生产中的掺杂剂、难熔金属硅化物的化学气相沉积以及复印机鼓上非晶硅的沉积。
光伏电池
硅烷还用于生产光伏电池。
光纤
硅烷用于生产光纤。