三氯化硼

三氯化硼

三氯化硼(BCl₃)是高 K 和金属各向异性等离子体蚀刻的主要气体成分。原子层蚀刻
和脉冲等离子蚀刻。BCl₃ 主要用于液晶面板制造过程中铝电路的精细蚀刻。

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