高纯电子气体 - 上海华源空气化工有限公司

氙的化学式为 kr，是相对原子质量最大、密度最高的天然惰性气体。主要

六氟化钨（WF6）：用作半导体制造中钨薄膜沉积和钨化合物生产的前驱气体。纯度：99.999%

三甲基硼（B(CH3)3）：在沉积含硼薄膜的化学气相沉积 (CVD) 过程中用作前驱体。纯度：99%

三氯硅烷（SiHCl3）：生产半导体制造用超纯硅的主要前体。纯度：99.9%

六氟化硫（SF6）：六氟化硫（SF6）：被广泛用作高压应用中的电绝缘体、开关设备中的绝缘气体以及镁和镁合金的生产。

二氧化硫在常温下为无色气体，有刺激性气味。它具有很强的渗透性，能迅速渗透到各种缝隙中，并具有以下特点

四氟化硅（SiF4）：用于半导体制造中硅的生产，以及有机合成中的氟化剂。纯度 99.99%

四氯化硅（SiCl4）：用于生产半导体制造所需的硅以及合成有机硅化合物。纯度：99.99%

硅烷是硅和氢的化合物，包括单硅烷（SiH4）、二硅烷（Si2H6）和一些高阶硅氢化合物。其中，单硅烷最为常见，而

分类：高纯电子气体